抛光浆的蚀刻有什么要求?

宇昊业务范围：蓝宝石抛光液,硅材料抛光液,CMP抛光液,衬底抛光液,窗口抛光液,铝合金抛光液,不锈钢抛光液,玻璃抛光液,蓝宝石清洗剂,硅材料清洗剂,窗口清洗剂,衬底清洗剂,蓝宝石材料清洗剂,光学电子清洗剂等。同时还可以根据客户的标准开发特异型抛光液产品。
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        抛光浆在蚀刻温度为50℃和盐酸为12mL/L条件下实验:a.FeCl3质量浓度不仅影响蚀刻速度，而且影响蚀刻质量。当FeCl3小于600g/L时，蚀刻速度慢，很难达到蚀刻效果；b.当FeCl3在600～900g/L范围内，蚀刻速度随FeCl3质量浓度的增加而增大；c.当FeCl3质量浓度大于900g/L时，不仅蚀刻速度随着FeCl3质量浓度的增加而减小，而且蚀刻面出现不均匀现象，蚀刻面大时尤为明显，这是由于蚀刻产物在蚀刻面上结晶析出所致。综合考虑，对于奥氏体不锈钢，FeCl3质量浓度应控制为660～850g/L。另外，抛光浆搅拌有利于蚀刻产物的溶解，但是搅拌速度太快会引起图纹膜脱落。

盐酸的质量浓度

        不锈钢的蚀刻速度随溶液酸度增加而增大，因此在蚀刻溶液中加进一定量盐酸、磷酸或硫酸等有利于进步蚀刻速度，同时可以避免Fe3+水解。实验结果显示，采用8～20mL/L的盐酸效果较好。