硅抛光液01L50
宇昊业务范围:蓝宝石抛光液,硅材料抛光液,CMP抛光液,衬底抛光液,窗口抛光液,铝合金抛光液,不锈钢抛光液,玻璃抛光液,蓝宝石清洗剂,硅材料清洗剂,窗口清洗剂,衬底清洗剂,蓝宝石材料清洗剂,光学电子清洗剂等。同时还可以根据客户的标准开发特异型抛光液产品。
全国咨询热线:4000 - 800 - 463,更多联系方式:http://www.hbyuhao.cn/contact/
硅抛光液适用于集成电路硅衬底、太阳能单晶硅电池的抛光,可将精抛光与粗抛光工艺同时进行,简化工艺流程。本公司生产的YH01型硅抛光液特选40-50nm粒径SiO2水溶胶为磨料,使用简单,并且具有金属离子含量低,硅去除速率高,损失层小,平整度高的特点。在使用过程中通过优化配比,均能达到最佳效果。此产品与美国Cabot公司,日本Fujimi公司同类产品相比,具有金属离子含量低、有机污染物去除率高,抛光速率相近,高温不出现非均匀性蚀坑,固含量高等特点。
主要技术指标
pH值 | 密度(g/cm3) | 粘度(mPa·s) | 粒径(nm) | SiO2含量(m/m) | 外观 |
10.5-11.0 | 1.25~1.30 | ≤2.2 | 40-50 | 40% | 白色半透明胶体 |
可根据具体生产要求加10-30倍水稀释使用;
储存方法:
避光,密封,放置于干燥阴凉处。5-35℃储存,12个月内使用有效,建议半年内使用。
包装方式:
20kg塑料桶,25kg塑料桶;一吨以上托盘运输。
宇昊业务范围:蓝宝石抛光液,硅材料抛光液,CMP抛光液,衬底抛光液,窗口抛光液,铝合金抛光液,不锈钢抛光液,玻璃抛光液,蓝宝石清洗剂,硅材料清洗剂,窗口清洗剂,衬底清洗剂,蓝宝石材料清洗剂,光学电子清洗剂等。同时还可以根据客户的标准开发特异型抛光液产品。
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