硅抛光液01L30
宇昊业务范围：蓝宝石抛光液,硅材料抛光液,CMP抛光液,衬底抛光液,窗口抛光液,铝合金抛光液,不锈钢抛光液,玻璃抛光液,蓝宝石清洗剂,硅材料清洗剂,窗口清洗剂,衬底清洗剂,蓝宝石材料清洗剂,光学电子清洗剂等。同时还可以根据客户的标准开发特异型抛光液产品。
全国咨询热线：4000 - 800 - 463，更多联系方式：http://www.hbyuhao.cn/contact/
硅抛光液适用于集成电路硅衬底、太阳能单晶硅电池的抛光，可将精抛光与粗抛光工艺同时进行，简化工艺流程。本公司生产的YH01型硅抛光液特选20-30nm粒径SiO2水溶胶为磨料，使用简单，并且具有金属离子含量低，硅去除速率高，损失层小，平整度高的特点。在使用过程中通过优化配比，均能达到最佳效果。此产品与美国Cabot公司，日本Fujimi公司同类产品相比，具有金属离子含量低、有机污染物去除率高，抛光速率相近，高温不出现非均匀性蚀坑，固含量高等特点。
主要技术指标
| pH值 | 密度（g/cm3） | 粘度（mPa·s） | 粒径（nm） | SiO2含量（m/m） | 外观 |
| 10.5-11.0 | 1.25～1.30 | ≤2.2 | 20-30 | 40±1wt% | 白色半透明胶体 |
可根据具体生产要求加10-30倍水稀释使用；
储存方法：
避光，密封，放置于干燥阴凉处。5-35℃储存，12个月内使用有效，建议半年内使用。
包装方式:
20kg塑料桶，25kg塑料桶；一吨以上托盘运输。
宇昊业务范围：蓝宝石抛光液,硅材料抛光液,CMP抛光液,衬底抛光液,窗口抛光液,铝合金抛光液,不锈钢抛光液,玻璃抛光液,蓝宝石清洗剂,硅材料清洗剂,窗口清洗剂,衬底清洗剂,蓝宝石材料清洗剂,光学电子清洗剂等。同时还可以根据客户的标准开发特异型抛光液产品。
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